Obhajoba dizertační práce studentky ÚFE Štěpánky Kelarové

Zveme vás na obhajobu disertační práce studentky Ústavu fyzikální elektroniky:

Mgr. Štěpánka Kelarová – Organosilikonové tenké vrstvy na bázi trimethylsilyl acetátu připravené pomocí plazmatu RF kapacitně vázaného doutnavého výboje

Organosilikonové tenké vrstvy připravené pomocí plazmochemické depozice z plynné fáze hrají důležitou roli v mnoha vědeckých studiích. Tyto materiály lze mnohostranně využít jak v řadě průmyslových odvětví, tak pro bioaplikace. V průběhu minulých let byly předmětem výzkumu zejména materiály na bázi siloxanů či tetraethoxysilanu. Tato práce se zabývá studiem tenkých vrstev připravených z trimethylsilyl acetátu (TMSAc) pomocí plazmatu RF kapacitně vázaného doutnavého výboje. Tato sloučenina nebyla dříve zkoumána pro využití v plazmových technologiích. Narozdíl od běžně používaných prekurzorů, struktura TMSAc obsahuje esterovou skupinu. Díky tomu by během plazmové polymerace mohlo dojít k zabudování karbonylových skupin do výsledných vrstev, což by bylo výhodné z hlediska vývoje organosilikonových vrstev pro bioaplikace.

V rámci práce bylo připraveno několik sad vrstev ve směsi TMSAc s nosnými plyny jako argon, kyslík nebo methan. Připravené plazmové polymery byly rozsáhle charakterizovány. Charakterizace zahrnuje analýzy struktury a chemického složení několika spektroskopickými technikami, analýzy povrchu vrstev mikroskopickými technikami a analýzy mechanických a optických vlastností. Důraz byl kladen především na nalezení vzájemných souvislostí mezi parametry depozičního procesu a výslednými vlastnostmi vyvinutých plazmových polymerů.​