Mezi hlavní oblasti naší činnosti patří výzkum a vývoj aplikací nízkoteplotního plazmatu a ionizovaných plynů (na teoretické i experimentální úrovni), plazma-chemické reakce v teplotně nerovnovážném plazmatu a povrchové interakce plazmatu, plazma v kapalinách a depozice tenkých vrstev. Na ústavu funguje šest samostatných výzkumných skupin.