Depozice tenkých vrstev a nanostruktur

Výzkumná skupina Ústavy fyziky a technologií plazmatu

Naše výzkumná skupina Depozice tenkých vrstev a nanostruktur se specializuje na použití plazmatu při přípravě tenkých vrstev a nanomateriálů. Zabýváme se PVD (Fyzikální depozice z plynné fáze) technikami s důrazem na magnetronové naprašování a HiPIMS (High-Power Impulse Magnetron Sputtering), PECVD (Plazmatem podporovaná chemická depozice z plynné fáze) technikami i mikrovlnnými a vysokofrekvenčními metodami přípravy moderních nanomateriálů.

Součastí naší práce je navrhování nových materiálů, design výrobních procesů, diagnostika depozičního plazmatu, simulace procesů, teoretické modelování materiálových vlastností a analýza připravených vrstev a nanomateriálů. Charakterizujeme složení, morfologii, krystalickou strukturu, chemické vazby, elektrické, optické, mechanické a funkční vlastnosti syntetizovaných tenkých vrstev a nanomateriálů.

Bez popisku
Náš tým

Bez popisku

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

ředitel Ústavu fyziky a ​technologií plazmatu a vedoucí výzkumné skupiny

vasina(zavináč)physics.muni.cz
ORCID

Bez popisku

doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Komplexní analýza mechanických vlastností tenkých vrstev

vilmab(zavináč)physics.muni.cz
ORCID

Bez popisku

doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.

Výzkum a vývoj nových typů materiálů, depoziční procesy přípravy tenkých vrstev, analýzy a charakterizace vrstev

soucek(zavináč)mail.muni.cz
ORCID

Bez popisku

doc. Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.

Prostorově a časově rozlišená diagnostika plazmatu, studium nestabilit v plazmatu, HiPIMS

hnilica(zavináč)mail.muni.cz
ORCID

Bez popisku

Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.

Příprava a nalýza nanočástic a nanostruktur, diagnostika mikrovlnných výbojů

ondrej,jasek(zavináč)mail.muni.cz
ORCID

Bez popisku

Mgr. Peter Klein, Ph.D.

Diagnostika HiPIMS plazmatu pomocí optické emisní spektroskopie, rychlé kamery a sond

pklein(zavináč)mail.muni.cz
ORCID

Bez popisku

Mgr. Matej Fekete, Ph.D.

Výzkum a vývoj nových typů materiálů, diagnostika depozičního procesu

fekete(zavináč)physics.muni.cz
ORCID

Bez popisku

Ing. Jaroslav Ženíšek, Ph.D.

Ab-initio výpočty struktury a vlastností povlaků, příprava a analýza povlaků ve formě kovových skel

jzenisek(zavináč)mail.muni.cz
SCOPUS

Bez popisku

Mgr. Pavel Ondračka, Ph.D.

Ab-initio výpočty struktury a vlastností povlaků na trojprvkové bázi WBC

ondracka(zavináč)mail.muni.cz
ORCID

Bez popisku

Richard Gaetan Paul Drevet, Ph.D.

Výzkum, příprava a analýza keramických povlaků

drevet(zavináč)mail.muni.cz
ORCID

Bez popisku

Mgr. Tereza Schmidtová, Ph.D.

Výzkum a analýza povlaků ve formě kovových skel

tschmidtova(zavináč)sci.muni.cz
SCOPUS

Bez popisku

Mgr. Stanislava Debnárová, Ph.D.

Dlouhodobý pobyt na Université de Mons, Belgie

debnarova(zavináč)mail.muni.cz
ORCID

Bez popisku

Mgr. Štěpánka Kelarová, Ph.D.

Rodičovská dovolená

kelarova.s(zavináč)mail.muni.cz
ORCID

Doktorští studenti

Bez popisku

Sahand Behrangi, M.Sc.​

Industrial deposition and characterization of ternary nitride thin films

behrangi(zavináč)mail.muni.cz

Bez popisku

Mgr. Martin Ondryáš

Porozumění multipulznímu HiPIMS procesu, příprava a charakterizace deponovaných vrstev

484247(zavináč)mail.muni.cz

Bez popisku

Mgr. Roman Přibyl

Vývoj technologie pro přípravu multifunkčních tenkých vrstev připravených plazmatem asistovanou depozicí

romanpribyl(zavináč)mail.muni.cz

Bez popisku

Mgr. Tomáš Rada

Průmyslová depozice tenkých vrstev za podmínek zvýšené ionizace rozprášených částic

t.rada(zavináč)mail.muni.cz

Bez popisku

Mgr. Martin Učík

Depoziční proces využívající pulzního oblouku synchronizovaného s přiváděným napětím na vzorky pro depozici tvrdých AlTiN a AlCrN vrstev

540833(zavináč)mail.muni.cz

Bez popisku

Mgr. Richard Václavik

Vývoj nanostrukturovaných plazma-polymerních tenkých vrstev deponovaných v prašném plazmatu

451769(zavináč)mail.muni.cz

Bez popisku

Mgr. Lukáš Vrána

Výzkum nitridů stabilizovaných vysokou entropií připravených magnetronovým naprašováním

lvrana(zavináč)mail.muni.cz

Chcete se připojit k našemu výzkumu? Napište nám. Spolupracujeme s vědeckými organizacemi z celého světa a se společnostmi zaměřujícími se na PVD technologie. Mezi aplikace našich povlaků a nanomateriálů patří:

  • mechanické ochranné povlaky – strojírenství
  • ohebná elektronika
  • optoelektronika
  • aerospace a automobilový průmysl
  • skladování vodíku a elektrické energie
  • senzorika

PECVD metody a analýza mechanických vlastností

PECVD metody a analýza mechanických vlastností

doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info