vedoucí výzkumné skupiny
Scopus Author ID: 7006927546
549 49 6244
ohlidal(zavináč)sci.muni.cz
kancelář: pav. 06/01031
Kotlářská 267/2
611 37 Brno
Optika tenkých vrstev a povrchů pevných látek
Výzkumná skupina Ústavy fyziky a technologií plazmatu
Výzkumná skupina Optika tenkých vrstev a povrchů pevných látek ÚFTP je součástí centra CEPLANT. Zabýváme se optickými vlastnostmi systémů tenkých vrstev a povrchů pevných látek spolu s optickou charakterizací těchto systémů. Jde například o vrstvy připravené plazmochemickými metodami, pomocí magnetronového naprašování nebo pomocí vakuového napařování.
Vytváříme a formulujeme nové disperzní a strukturní modely, které pak používáme při optické charakterizaci. Strukturní modely obsahují defekty jako náhodná drsnost rozhraní, nehomogenita vrstev, tloušťková neuniformita, přechodové mezivrstvy a další. Naše optická laboratoř je vybavena spektrofotometry a elipsometry pokrývající širokou spektrální oblast od vzdálené infračervené oblasti až po vakuovou ultrafialovou oblast.
Náš tým
Načítám mapu…
technik
549 49 3709
pfranta(zavináč)mail.muni.cz
Vybavení
Elipsometrie
Spektrofotometrie
Horiba Jobin Yvon UVISEL
- spektrální rozsah: 0.6 - 6.5 eV
- úhly dopadu v rozmezí 55° - 90°
- X-Y mapovací stolek
Perkin Elmer Lambda 1050+
- spektrální rozsah 0.38-6.6 eV
- měření propustnosti vrstevnatých systémů
- reflexní přístavky pro měření odrazivosti pod téměř kolmým úhlem dopadu (6°)
- měření propustnosti tekutin v kyvetách
- URA detektor pro měření odrazivosti pod různými úhly dopadu (8°-65°)
Woollam IR-VASE
- spektrální rozsah: 300 - 6500 cm-1
- úhly dopadu v rozmezí 25° - 90°
- možnost měření v transmisním módu
Bruker Vertex 80v
- spektrální rozsah 70 - 7000 cm-1
- držák pro měření propustnosti při kolmém dopadu
- reflexní přístavek pro úhel dopadu 7°
- měření ve vakuu
Horiba Jobin Yvon UVISEL2 VUV
- spektrální rozsah: 0.6 - 8.5 eV
- fixní úhel dopadu 70°
- měření ve vakuu
- možnost vyhřívání vzorku
Spolupráce
Bundesanstalt für Materialforschung und -prüfung (BAM)
Berlín, Německo
Český metrologický institut
Brno, Česká republika
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik
Jena, Německo
Fakulta strojního inženýrství - Vysoké učení technické v Brně
Brno, Česká republika
Centrum HiLASE, Fyzikální ústav AV ČR
Dolní Břežany, Česká republika
Friedrich-Schiller-Universität
Jena, Německo
Johannes Kepler Universität Linz
Linec, Rakousko
LENA Laboratory for Emerging Nanometrology, Technische Universität Braunschweig
Braunschweig, Německo
Meopta - optika, s.r.o.
Přerov, Česká republika
Physikalisch-Technische Bundesanstalt
Braunschweig, Německo
TTS, s.r.o. - Tenkovrstvý technologický servis
Praha, Česká republika
Varroc Lighting Systems, s.r.o.
Nový Jičín, Česká republika
Studenti a absolventi
Nabízená témata závěrečných prací
- Optická charakterizace tenkých vrstev fluoridů
- Charakterizace náhodně drsných povrchů pomocí optických metod a mikroskopie atomové síly
Aktivní studia
Beáta Hroncová
Absolventi
-
2022
Charakterizace opticky aktivních kapalin (bakalářská práce, Beáta Hroncová)
Určení optických konstant tenkých substrátů v infračervené oblasti (diplomová práce, Jiří Večeře)
Optické vlastnosti tenkých vrstev nestechiometrického nitridu křemíku připravených metodou reaktivního magnetronového naprašování (diplomová práce, Martin Málek)
-
2021
Určování optických konstant a strukturních parametrů tenkých DLC vrstev s příměsí křemíku a kyslíku (bakalářská práce, Pavlína Kührová)
-
2020
Určení šířky spektrální čáry spektrofotometrů pro různé nastavení spektrálního rozlišení (bakalářská práce, Jiří Večeře)
Určování tlouštěk a optických konstant neuinformích polymerních tenkých vrstev (bakalářská práce, Veronika Šklíbová)
-
2019
Optická charakteristika tenkých vrstev nitridu křemíku (bakalářská práce, Martin Málek)
-
2018
Určování optických konstant a tlouštěk tenkých vrstev nitridu křemíku (bakalářská práce, Diana Csontosová)
Optická charakterizace WBC vrstev (bakalářská práce, Lukáš Rychnovský)
-
2013
Optical characterisation of non-uniform thin films (disertační práce, David Nečas)
-
2010
Deposition of hydrocarbon thin films in plasma and study of their properties (disertační práce, Miroslav Valtr)
Publikace
-
A comparative study of sioxcyhz thin films deposited in trimethysilyl ACETATE/O2/Ar plasmas 11th International Conference on Nanomaterials - Research & Application (NANOCON 2019), rok: 2020
-
Antireflexní vrstva na substrátu ve specifikaci T>=99,8 %@ 248 nm a T>=98,5 % @ 213 nm. Rok: 2020
-
Deposition of organosilicon coatings from trimethylsilyl acetate and oxygen gases in capacitively coupled RF glow discharge Progress in Organic Coatings, rok: 2020, ročník: 149, vydání: December 2020, DOI
-
Determining shape of thickness non-uniformity using variable-angle spectroscopic ellipsometry Applied Surface Science, rok: 2020, ročník: 534, vydání: December 2020, DOI
-
Ellipsometric characterization of highly non-uniform thin films with the shape of thickness non-uniformity modeled by polynomials Optics Express, rok: 2020, ročník: 28, vydání: 4, DOI
-
Ellipsometric characterization of inhomogeneous thin films with complicated thickness non-uniformity: application to inhomogeneous polymer-like thin films Optics Express, rok: 2020, ročník: 28, vydání: 24, DOI
-
Optical quantities of a multilayer system with randomly rough boundaries and uniaxial anisotropic media calculated using the Rayleigh-Rice theory and Yeh matrix formalism Physica Scripta, rok: 2020, ročník: 95, vydání: 9, DOI
-
Spectroscopic ellipsometry of inhomogeneous thin films exhibiting thickness non-uniformity and transition layers Optics Express, rok: 2020, ročník: 28, vydání: 1, DOI
-
Symmetry of linear dielectric response tensors: Dispersion models fulfilling three fundamental conditions Journal of applied physics, rok: 2020, ročník: 127, vydání: 22, DOI